催化氧化是典型的氣-固相催化反應，其實質是活性氧參與的深度氧化作用。在催化氧化過程中，催化劑的作用是降低活化能，同時催化劑表面具有吸附作用，使反應物分子富集于表面提高了反應速率，加快了反應的進行。借助催化劑可使有機廢氣在較低的起燃溫度條件下，發(fā)生無焰燃燒，并氧化分解為CO2和H2O，同時放出大量熱能。

根據(jù)待處理廢氣熱值的不同可以選擇補充能量（電加熱、天然氣加熱）輔助系統(tǒng)運行或熱量富裕時增設余熱鍋爐用于副產飽和蒸汽或過熱蒸汽。